???? - - ?? ??? ???? - ?? ?? ??? : ??? ???? ???? CVD ?? ?? ? ???? ???? ?? ??. ??? ???? ??? ?? ??? ??? ?? ???? ??, ?? ?? ??? ?? ?? ??? ????? ?? ??? ?? ??? ??, ? ?????? ???. ?? ?? ???? ?? BUE? ?? ?? ?? ? ?? ?? ???? ?? ???, ??? ?? ????, 40 %, ??? ???? ? ?? ?? ?? ???? ????? ???? ???. ??? ??? ???? ??? ?? ?? ??? ?? ? ??? ??? ?? ??? ?? ??? ????, ??? ?? ??? ????? ???. ?? ? ?? ?? ?? ? ???? ?? ? ? ??? ?? ??.

?? ??? ??? ???? ???? ?? ? ???, ??? ? ??? ??? ????? ?? ??? ???? ???. ???? ??? ?? ?? ?? ?? ??? ?? ??? ?? ?? ????? ???. ??? ?? ???? ??? ?? ??? ??? ???, ??? ???? ?? ??? ?? ?? ?? ???. ?? ??? ??? ??? ??? ?? ??? ?? ??? ???? ???? ??? ???? ?? ??? ??? ?? ??? ???? ?? ??.

?? ? ????? ??? ?? ?? ?? ?????, ?? ?? ?? ??? (?? HTCVD ?)? ?? ?? ????? ???? ????, ??? H2, CH4, N2, TiCl4?,? AlCl3, CO2 ? ?? ?? ?? ??? ??? ??? ???? ???? ?? ??? ?? ? ??? ???????, ?? ???? ??? ?? ?? (????? 1000 ℃ ~ 1050 ℃), ? ???? ?? ?? TiC??? ??? , ??, ??? (C, N) ?? Al2O3?, ?? ?? ??. ????? ?? ??? ??? ????? PCVD ?? (???? ?? ?? ??) ???? ?? ???? ???? ???, ?? ?? ?? (700 ° ~ 800 °)??, ?? ??? ?????? ???, ?? ? ??? ?????.

???? ??, ????? ?? ???? ??? ??????? ??, ???????. ?? ? ?? ??? ?? ??? ???? ??? ??? ??? ????, ??? ?? ??? ??? ?? ????? ??? ?? ???? ??? ?? ?? ????. ?? ??? ??? ??? ???? ??? ????? ??? ??? ??? TiC? ?? ?? ????; ??? ??, Al2O3? ?? ?? ? ? ????.????, ?? ?? ??? TiC? ?? ?? ?? ?? ?? TiC / TiN?, TiC? / Al2O3?? ?? ? ?? ??? TiC /? Ti (C, N) / ??, ?? /? Al2O3 / TiN? ??? ??. ????, ???? ??? ????, ???? ?? ?? ?, ?? / ? / ?? ? ?? ???? ???, HFN, ? ??? ???? ?? TiN? ????.